schnelles Wärmebehandlungssystem (Rapid Thermal Processor)
1956379
Dokumentennummer | 145694-2023 |
Beschreibung | Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein flexibel einsetzbarer Rapid Thermal Processor (RTP) für die thermische Prozessierung von Proben von Chipgröße bis 4“-Wafer mit verschiedenen Materialsystemen aus dem Bereich der Halbleiter-, sowie Mikro- und Nanotechnologie zu beschaffen, mit dem definierte thermische Behandlungen möglich sind. Dabei sollen Temperaturen bis mindestens 1300 °C und verschiedene Atmosphären, unter denen diese Behandlung durchführt wird, möglich sein. |
Auftraggeber | Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung |
Bekanntmachungsart | Offenes Verfahren |
Formular | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Auftragsart | Lieferauftrag |
Veröffentlicht | 10.03.2023 |
Erscheinungsende | 10.06.2023 12:00 |
NUTS-Code | |
CPV-Code | 42900000 |
Link | http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:145694-2023:TEXT:DE:HTML |
Quelle | Amtsblatt EU |