schnelles Wärmebehandlungssystem (Rapid Thermal Processor)


Dokumentennummer	131698-2023
Beschreibung	Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein flexibel einsetzbarer Rapid Thermal Processor (RTP) für die thermische Prozessierung von Proben von Chipgröße bis 4“-Wafer mit verschiedenen Materialsystemen aus dem Bereich der Halbleiter-, sowie Mikro- und Nanotechnologie zu beschaffen, mit dem definierte thermische Behandlungen möglich sind. Dabei sollen Temperaturen bis mindestens 1300 °C und verschiedene Atmosphären, unter denen diese Behandlung durchführt wird, möglich sein.
Auftraggeber	Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Ansprechpartner	Kontaktperson: Straße: Max-Planck-Ring 14 PLZ: 98693 Ort: Ilmenau Telefon: Email: beschaffung@tu-ilmenau.de
Bekanntmachungsart	Offenes Verfahren
Formular	Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsart	Lieferauftrag


NUTS-Code
CPV-Code	42900000
Link	http://ted.europa.eu/udl?uri=TED:NOTICE:131698-2023:TEXT:DE:HTML
Quelle	Amtsblatt EU